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2023/11/1現在   

設備名
型式 ‐ 能力
台数
ロータリー研削盤
NVG7500DF 1
ロータリー研削盤 NVG1000DF 3
NC切断機 800x1000 1
NC切断機 400x600 1
自動供給芯取機 SAiDA 7
手動式芯取機 SAiDA 6
両面ラップ盤(一次Lap) 16BF4M 2
両面ラップ盤(一次Lap) 24BFS4M 1
両面ラップ盤(二次Lap) 9BF2M 1
両面ラップ盤(二次Lap) 9BF4M 1
両面ラップ盤(二次Lap) 16BF2M 2
両面ラップ盤(二次Lap) 24BFS4M 1
両面ラップ盤(一次Pol) 9BF4M 4
両面ラップ盤(一次Pol) SPEEDFAM 5P-IV 2
両面ラップ盤(一次Pol) 16BF2M 4
両面ラップ盤(一次Pol) 16BF4M 3
両面ラップ盤(一次Pol) 24BF4M 3
両面ラップ盤(二次Pol) 9BF4M 1
両面ラップ盤(コロイダルシリカ仕様) 9BF4M 1
両面ラップ盤(二次Pol) 16BN3M 1
8槽式精密us洗浄機 (純水式) 1
純水・超純水装置 (3t) 1
検査クリーンルーム Class1000 1
レーザー干渉計 F601 (φ80) 3
レーザー干渉計 G102 (φ150) 2
クリーンベンチ 5
排水処理設備(6m3/hr) 1
脱水処理設備 1